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There are three procedures in LED production, namely epitaxial wafer, tube core and encapsulation.
在LED生产过程中, 主要有外延片生长 、 芯片和封装三个环节.
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光刻机是半导体制造的核心装备，硅片传输机器人是其内部专用的自动物料处理设备，它的工作速度、定位精度、可靠性，使用洁净度等直接影响光刻工序中的生产效率和制造质量。
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